亚博APP手机版|【IITC/AMC2016】5nm工艺IC布线技术发展方向明确

日期:2021-01-31 00:55:02 | 人气: 39234

亚博APP手机版|【IITC/AMC2016】5nm工艺IC布线技术发展方向明确 本文摘要:IEEEElectronDeviceSociety主办的半导体点对点(布线)技术由国际会议ieeeinternationalinterconnecttechnologyconference (IITC ) 2016于5月23~26日IITC2016的论文数为一般口头演说(也包括主题演说) 45篇,面板公开发表33篇。

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IEEEElectronDeviceSociety主办的半导体点对点(布线)技术由国际会议ieeeinternationalinterconnecttechnologyconference (IITC ) 2016于5月23~26日IITC2016的论文数为一般口头演说(也包括主题演说) 45篇,面板公开发表33篇。一般演说按领域划分,包括硅化物在内的MUP (materialsandunitprocesses ) metal领域最多,为36%,其次是MUP-ILD (绝缘膜)领域的16%,反映了与AMC ()的关系。

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